Caroline D12A - автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления.
Caroline D12A1 - автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления.
Caroline D12B - автоматизированная установка магнетронного напыления.
Caroline D12B1 - автоматизированная установка двустороннего нанесения упрочняющих, каррозийнно-стойких и декоративных покрытий.
Caroline-D12B2 - автоматизированная установка для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские подложки.
Caroline D12С - автоматизированная установка магнетронного магнетронного напыления с камерой увеличенной высоты для больших объемов производства.
Caroline IE12 - автоматизированная установка ионного травления.
Caroline PE12 - автоматизированная установка плазмнохимического, ионно-химического и ионного травления тонких пленок в вакууме.
Caroline PE15 - автоматизированная шлюзовая установка плазмохимического и ионно-химического травления.
Caroline PECVD15 - автоматизированная шлюзовая установка плазмостимулированного осаждения слоев из газовой сферы.